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          文章詳情

          簡(jiǎn)述分子束外延的特點(diǎn)

          日期:2025-12-14 23:47
          瀏覽次數(shù):876
          摘要:
          分子束外延的特點(diǎn):
             (1)生長(zhǎng)速率極慢,大約1um/小時(shí),相當(dāng)于每秒生長(zhǎng)一個(gè)單原子層,因此有利于實(shí)現(xiàn)**控制厚度、結(jié)構(gòu)與成分和形成陡峭的異質(zhì)結(jié)構(gòu)等。實(shí)際上是一種原子級(jí)的加工技術(shù),因此MBE特別適于生長(zhǎng)超晶格材料。
             (2)外延生長(zhǎng)的溫度低,因此降低了界面上熱膨脹引入的晶格失配效應(yīng)和襯底雜質(zhì)對(duì)外延層的自摻雜擴(kuò)散影響。
             (3)由于生長(zhǎng)是在超高真空中進(jìn)行的,襯底表面經(jīng)過(guò)處理可成為完全清潔的,在外延過(guò)程中可避免沾污,因而能生長(zhǎng)出質(zhì)量極好的外延層。在分子束外延裝置中,一般還附有用以檢測(cè)表面結(jié)構(gòu)、成分和真空殘余氣體的儀器,可以隨時(shí)監(jiān)控外延層的成分和結(jié)構(gòu)的完整性,有利于科學(xué)研究.
             (4)MBE是一個(gè)動(dòng)力學(xué)過(guò)程,即將入射的中性粒子(原子或分子)一個(gè)一個(gè)地堆積在襯底上進(jìn)行生長(zhǎng),而不是一個(gè)熱力學(xué)過(guò)程,所以它可以生長(zhǎng)按照普通熱平衡生長(zhǎng)方法難以生長(zhǎng)的薄膜。
             (5)MBE是一個(gè)超高真空的物理沉積過(guò)程,既不需要考慮中間化學(xué)反應(yīng),又不受質(zhì)量傳輸?shù)挠绊懀⑶依每扉T可以對(duì)生長(zhǎng)和中斷進(jìn)行瞬時(shí)控制。因此,膜的組分和摻雜濃度可隨源的變化而迅速調(diào)整。

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